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SUN-100P系列紫外正性光刻胶

SUN-100P系列是非化学放大型i-线正性光刻胶,其特点是高解析度,可以达到0.35微米HP。这个系列的产品传承了beat365中国在线体育光刻胶的粘附性基因,大部分情形下无需HMDS处理基底。SUN-100系列特别适应于高解析度干法刻蚀工艺。


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